X線回折によって求められた結晶格子間隔の歪みの残留応力を測定し、採取データを換算し、数値として求めることにより、測定できます。

X線回折によって求められたγ相を測定し、α相との回折プロセスの積分強度と比較することによって体積％を求めることができます。

• 非破壊分析
• 深さ数十ミクロンまでの試料採取データ
• 試料の微小部分の局所的残留応力分析が可能

残留応力測定分布

試料に電子ビームを照射して、表面から放出された　2次電子や反射電子、X線等を検出することで対象物を観察できます。また表面の凹凸を3次元的にも観察できます。

電子線やX線等の1次線を対象物に照射したときに生じる特性X線を検出させて、その得たエネルギ-と強度から物体を構成する元素と濃度を調べることが可能です。